FTM107-A膜厚監(jiān)控儀
一、技術(shù)特點(diǎn)：
1.全觸摸屏操作顯示，簡(jiǎn)單易用；
2.二組繼電器輸出，到達(dá)設(shè)置厚度自動(dòng)關(guān)閉擋板/蒸發(fā)源；
3.實(shí)時(shí)顯示速率、厚度、鍍膜曲線和鍍膜時(shí)間；
4.提供RS232/RS485接口。
二．應(yīng)用范圍：
適用于電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測(cè)量，通過觸摸屏和數(shù)碼管顯示，使您能獲取完整的沉積數(shù)據(jù)。
采用了更先進(jìn)的軟件和硬件設(shè)備，進(jìn)一步提高了儀器抗干擾能力。
三、主要參數(shù)：
|
|
FTM107-A監(jiān)控儀
|
|
晶振頻率
|
6MHz（可選2.5M 3M 5M 9M晶體)
|
|
顯示方式
|
5”彩色觸屏+數(shù)碼管顯示速率和實(shí)厚
|
|
操作方式
|
觸摸屏
|
|
厚度顯示范圍
|
0-99μ9999?
|
|
厚度實(shí)際分辨率
|
0.1?（鋁）
|
|
厚度顯示分辨率
|
1?
|
|
速率范圍
|
0-999.9?
|
|
速率顯示分辨率
|
0.1?/s
|
|
鍍膜層數(shù)
|
99層
|
|
探頭輸入
|
4路（任選一路工作）
|
|
工具因子
|
0.01-99.99
|
|
材料存儲(chǔ)
|
257+自定義10種
|
|
通 訊
|
RS232/RS485
|
|
擋板/源控制
|
2組觸點(diǎn)，到達(dá)厚度關(guān)擋板/蒸發(fā)源
|
|
鍍膜顯示
|
速率曲線/數(shù)值
|
|
鍍膜巡回次數(shù)
|
0-99
|
|
機(jī)箱尺寸
|
480×250×89mm(2U 19”機(jī)箱)
|
四．特殊功能：
（1）具有人工停止鍍膜功能
（2）可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比
（3）顯示鍍膜結(jié)束后的監(jiān)測(cè)實(shí)厚、材料和層次
備注：此型號(hào)可以代替FTM 106和FTM-V型號(hào)